microline-300是一款桌上型測量系統

東莞市天測光學設備有限公司提供microline-300是一款桌上型測量系統。
主要技術參數：

◆ 測量范圍(XYZ)：標準：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆ 視場內測量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸句交范圍：25 mm
◆ 視場內測量范圍：0.5um~400um；
◆ 視場內測量重復性(100x 物鏡)： 晶圓上<0.010um(1δ)；
掩模板上0.005um(1δ)；
◆ 承重：2kg

◆ 標配鏡頭10x，可選鏡頭：5X, 20X, 50X, 100X





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